光でナノテク：原子操作からデータストレージまで

立体的なシリコンマイクロマシニングと集積化技術

羽根　一博　（東北大学）

微小な動く機械構造を3次元的に製作するマイクロマシング技術を紹介する。さらに微細なナノマシング技術と組み合わせることにより，ナノ領域へアクセスできる複雑で精巧なメカトロニクスシステムを実現できる。高密度のデータストレージシステム等への応用を目指し開発したマイクロマシング技術を紹介する。