百万本のカンチレバーと200MHzまでの走査型力顕微鏡

川勝 英樹 (東京大学)

1GHzまで作動する走査型力顕微鏡の研究を行っている。現在、光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー計を用いて、200MHz程度までの励振と検出を可能としている。この装置を用いて、原子分解能のラテラル力顕微鏡を実現したのでその成果を報告する。また、同様の光学系で光スポットを走査することにより多数のカンチレバーを光学的にアドレスすることが可能となった。その構成と展望を紹介する。

「光メカトロニクス」公開シンポジウム
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