光でナノテク：原子操作からデータストレージまで

光プローブ走査のための集積可能な静電マイクロアクチュエータ

南　和幸　（山口大学）

光プローブを集積化した場合には、各プローブを独立で動かすためのアクチュエータも集積化できなければならない。したがって構造が簡単で製作も容易なアクチュエータの実現が不可欠である。本講演では新しく開発したアクチュエータとして、繊毛型の電極と静電気力を利用した繊毛電極分布型静電マイクロアクチュエータの原理、製作プロセス、試作結果、今後の展望について述べる。