光でナノテク：原子操作からデータストレージまで

アクチュエータ集積化Bow-tie型近接場プローブ

小野　崇人　（東北大学）

Bow-tieアンテナ型の構造をもつ近接場光プローブは、表面プラズモンの光増幅効果により大きな光利用率と高い分解能を持つことが期待されている。しかしながら、この効果を得るには、20nm以下の小さなギャップをアンテナプローブに形成するする必要がある。本研究では、マイクロマシニング技術を用い、静電アクチュエーターを集積化し微小なギャップが制御できる近接場光プローブを試作した。