複屈折近接場光学顕微鏡によるマイクロ応力分布の観測

梅田 倫弘 (東京農工大学)

ナノテクノロジーの進展に伴い、材料やマイクロナノ構造体の力学的あるいは配向状態の観測評価の重要性が指摘されている。そこで、この講演では回折限界を超える光学的偏光異方性をマッピングできる複屈折近接場光学顕微鏡について、その原理、装置構成、特性を概説するとともに、光磁気ディスクの構造異方性やナノインデンテーションにおける圧痕周辺の応力分布の観測結果について紹介し、今後のナノテクノロジーにおける構造異方性観測の動向を展望したい。

「光メカトロニクス」公開シンポジウム
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