光ナノデバイスの作り方
江刺 正喜 東北大学
微小開口を持ちスループットの大きな近接場光顕微鏡用プローブをマイクロマシニング技術で製作した。光ファイバ先端に形成したものや静電容量検出型原子間力顕微鏡と一体化したもの、この製作技術の各種応用などを紹介する。
第17回「大学と科学」公開シンポジウム